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电化学沉积设备工艺流程

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简介：电化学沉积设备利用电化学原理实现薄膜的沉积。设备运行前，先构建一个电化学池，其中包含电解液、阳极、阴极（即待沉积薄膜的基片）以及电源。电解液中含有目标薄膜元素的...

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