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用电子“雕刻”芯片，揭秘电子束光刻如何绘制纳米蓝图

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简介：芯明天压电纳米定位台采用柔性铰链机构，运动范围可达毫米级，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠...

芯明天压电纳米运动的视频

用电子“雕刻”芯片，揭秘电子束光刻如何绘制纳米蓝图

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